10月16日，2024集成電路關鍵材料產業合作大會在德州天衢新區召開，這已是天衢新區第三年承辦國家級產業盛會。經濟導報記者了解到，自2013年至今共11年間，德州天衢新區的新一代信息產業從無到有、從有到優、從優到精，產值增速創造“70倍奇跡”。
近年來，山東堅持把新一代信息技術產業作為“十強”產業之首，高位推動信息技術產業實現快速高效發展，以德州等城市為原點，山東在新一代信息技術全國產業版圖中獲得一席之地。
龍頭企業引領原創產品和技術
山東有研艾斯半導體材料有限公司（下稱“有研艾斯”）位于德州天衢新區布局的集成電路關鍵材料基地內。在這里，一根根單晶硅棒被切割成1毫米厚的硅片，經過倒角、研磨、拋光等40余道工序后，就形成了出廠成品，待統一檢查包裝后發往全國各地。據悉，有研艾斯此前攻克了單晶微缺陷、硅片平整度、表面玷污等關鍵技術難題，成為當前省內唯一能生產12英寸大硅片的企業。
有研艾斯相關人士介紹，“硅片直徑越大，對材料和技術的要求就越高，制造難度也越大，生產過程涉及亞微米甚至納米級別的結構，工藝穩定性、產品質量參數一致性、單臺設備產能和產品單位成本持續降低控制等都是需要考慮的因素。”
據了解，12英寸硅片技術參數要求較高，各工藝環節需要長期積累，其中單晶工藝是最為核心的技術，其決定了硅片尺寸、電阻率、純度、氧含量、位錯、晶體缺陷。隨著集成電路制程和工藝的發展，硅片趨向大尺寸化和制程精細化，12英寸硅片為當前及未來較長時間內的主流產品。
山東有研半導體材料有限公司、有研艾斯、有研億金新材料（山東）有限公司……德州是中國有研科技集團有限公司（下稱“有研集團”）在全國投資布局規模最大、業務領域最廣的科技成果轉化基地。據了解，目前，有研集團已投資近百億元，共布局了7個產業鏈項目，德州天衢新區涵蓋主要6個項目，可年產各類硅片900余萬片、靶材4.3萬塊、12至18英寸硅單晶400余噸。
產業規模增長約70倍
據介紹，自2013年威訊聯合半導體（德州）有限公司落戶開始，德州半導體產業強力起勢，逐步形成單晶硅材料、芯片設計、封裝測試、設備材料、終端應用的半導體產業鏈。
2018年，德州與有研集團“牽手”，合作建設集成電路關鍵材料基地，規劃面積近千畝，德州天衢新區由半導體產業向集成電路產業延伸拓展，發展駛入快車道。此后，有研系的12英寸硅片、高純濺射靶材、刻蝕設備用硅材料及硅片擴產等六大項目相繼落地，總投資近百億元。全部達產后，8英寸硅片將占國內市場份額10%、12英寸硅片占國內市場份額20%，高端靶材占全球市場份額20%以上。“將這些高端項目集聚在一個基地，放眼全國也不多。”德州天衢新區黨工委委員、管委會副主任李濤表示。
今年，總投資50億元的激光雷達及傳感器件產業化項目落戶德州天衢新區并開工建設。作為第二代半導體領域的鏈主，該項目具備垂直一體化生產能力，可為多家企業提供配套服務。至此，德州天衢新區形成了從襯底外延、芯片制造、封裝測試、器件模組到終端應用的完善產業生態，憑借長且豐富的產業鏈，進軍為新一代信息技術產業的一名“優等生”。
項目招來了，還更要留得住、發展好。德州天衢新區超前實施產業布局，規劃打造“兩區+四園”。其中，“兩區”指3000畝的集成電路和電子信息產業，“四園”即76萬平方米的電子信息產業園、手機制造產業園、智能終端產業園、京津冀創新轉化中心。德州市有90%的新一代信息技術規上企業在此集聚，實現了“引來一家企業、帶來一片產業、興起一個園區、激活一座城市”的規模效應。
據介紹，目前，德州天衢新區新一代信息技術產業發展勢頭向上向好、效益明顯提升，產業規模由2013年的1.27億元增至2024年的90.6億元，11年間增長了約70倍。
（大眾新聞·經濟導報記者 于婉凝 謝衛振）
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