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有研科技以“最快時(shí)速”攻克技術(shù)壁壘,達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先水平,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于物聯(lián)網(wǎng)、汽車電子等領(lǐng)域。 |
從一紙規(guī)劃到全鏈貫通,從硅片破題到生態(tài)成勢,德州天衢新區(qū)以創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)締造“芯”速度。七年間,這里匯聚了上下游企業(yè)超百家,已崛起為全國產(chǎn)業(yè)版圖的創(chuàng)新高地之一。
從零起步的破冰之路
硅片,被譽(yù)為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的“基石”,其技術(shù)門檻高、市場長期被國外壟斷。2018年,天衢新區(qū)迎來轉(zhuǎn)折點(diǎn)——央企中國有研科技集團(tuán)(下稱“有研科技”)落子德州,投資建設(shè)大尺寸硅片項(xiàng)目。這一破冰之舉,填補(bǔ)了山東半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的空白,也拉開了國產(chǎn)硅片替代進(jìn)口的序幕。
有研科技在德州的快速發(fā)展,是德州新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的一個(gè)縮影。從2018年8英寸硅片通線量產(chǎn),到2023年山東首條12英寸硅片生產(chǎn)線投產(chǎn),有研科技以“最快時(shí)速”攻克技術(shù)壁壘,達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先水平,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于物聯(lián)網(wǎng)、汽車電子等領(lǐng)域。
此后,有研科技布局的高純?yōu)R射靶材、刻蝕設(shè)備用硅材料等項(xiàng)目紛紛落地,并與已建成的8英寸硅片、12英寸硅片項(xiàng)目“抱團(tuán)發(fā)展”,使德州乃至山東躋身硅材料產(chǎn)業(yè)國內(nèi)第一方陣。
以有研科技為龍頭,天衢新區(qū)按照“先中端、后高端,先模組、后器件”的路徑,迅速吸引上下游企業(yè)集聚,推進(jìn)新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,逐步形成了從襯底外延、芯片制造、封裝測試、器件模組到終端應(yīng)用的產(chǎn)業(yè)生態(tài)。
從8英寸到12英寸
走進(jìn)山東有研艾斯半導(dǎo)體材料有限公司無塵車間,單晶硅棒經(jīng)過截?cái)唷L磨、切片等40余道工序,最終成為12英寸精密硅片。據(jù)悉,硅片直徑越大技術(shù)挑戰(zhàn)越大,大尺寸硅片的生產(chǎn)需攻克單晶微缺陷、表面沾污等幾十種技術(shù)難題。
技術(shù)突破的背后,是創(chuàng)新鏈與產(chǎn)業(yè)鏈的深度融合。天衢新區(qū)聯(lián)合高校、科研院所搭建產(chǎn)學(xué)研平臺(tái),推動(dòng)“有研系”在德州布局7大項(xiàng)目,涵蓋硅片、靶材、精密加工等關(guān)鍵領(lǐng)域。
有研項(xiàng)目落戶后,天衢新區(qū)通過“鏈長制”統(tǒng)籌資源,為每個(gè)項(xiàng)目配備服務(wù)專班,從審批到投產(chǎn)全程護(hù)航。全部達(dá)產(chǎn)后,8英寸硅片、12英寸硅片將分別占國內(nèi)市場10%、20%,高端靶材將占全球市場20%以上,成為國產(chǎn)半導(dǎo)體材料的“穩(wěn)壓器”。
“從8英寸躍升到12英寸,不僅僅是個(gè)頭的變化。”山東有研艾斯半導(dǎo)體材料有限公司總經(jīng)理閆志瑞直言,硅片直徑越大,對硅片生產(chǎn)的技術(shù)、工藝、設(shè)備、原材料等要求就越高。山東有研艾斯攻克了多項(xiàng)技術(shù)難題,目前12英寸大硅片已在國內(nèi)外多家知名集成電路制造企業(yè)開展產(chǎn)品驗(yàn)證。
“加碼”投資背后
有研科技持續(xù)“加碼”投資的背后,是天衢新區(qū)良好的營商環(huán)境。“從項(xiàng)目審批,到快速解決建設(shè)中遇到的水電氣等配套難題,再到有研員工團(tuán)購價(jià)購房等,每一個(gè)細(xì)節(jié)都體現(xiàn)出當(dāng)?shù)卣嬲袑?shí)招留企穩(wěn)企的決心和誠心。”山東有研半導(dǎo)體材料有限公司副總經(jīng)理常青說。
以硅單晶拉制為例。這是一個(gè)極其復(fù)雜的過程,在拉制過程中,要精確控制溫度和拉速,對水、電等動(dòng)力條件的供應(yīng)穩(wěn)定性要求非常嚴(yán)苛。為保證能源供應(yīng)的穩(wěn)定性,天衢新區(qū)專門協(xié)調(diào)為企業(yè)建設(shè)了專用變電站,實(shí)行雙回路供電。
除了營商環(huán)境,人才更是重中之重。為破解人才短缺難題,德州啟動(dòng)“北接南融”戰(zhàn)略,主動(dòng)對接北京、天津的科研資源,吸引高端人才“回流”,推動(dòng)人才工作由過去“爭”和“搶”,主動(dòng)向“接”和“融”轉(zhuǎn)變。
此外,針對公司高端人才來到德州后無法享受到當(dāng)?shù)氐母黝惾瞬耪哐a(bǔ)貼問題,德州市隨即出臺(tái)《德州市人才政策“破格權(quán)”實(shí)施細(xì)則》,對重點(diǎn)科研類平臺(tái)和近3年從市外招引的重大項(xiàng)目,不受平臺(tái)限制,參照本市獨(dú)立法人資格企業(yè)標(biāo)準(zhǔn),同等享受人才政策,山東有研半導(dǎo)體材料有限公司和山東有研艾斯半導(dǎo)體材料有限公司均被納入首批享受人才政策“破格權(quán)”用人單位名單。
(劉瀟 張鳳帥)
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