總部從廣州遷入濟南后，濟南市艾恩半導體科技有限公司（下稱“艾恩半導體”）的每一步動作，都備受行業關注。
在近日舉行的“投資齊魯 共贏未來”高質量發展資本對接活動上，艾恩半導體全資子公司艾恩（山東）半導體科技有限公司（下稱“艾恩山東”）融資負責人田鳳嬌現場進行了項目推介，并與多名投資嘉賓進行了細致溝通。
田鳳嬌介紹，本輪融資主要用于高端離子注入機的研發投入、產能擴建以及團隊建設，計劃融資5000萬元。“資金將重點投向高能離子注入機的技術攻關和批量產線建設，進一步鞏固在碳化硅等寬禁帶半導體領域的先發優勢。同時拓展國內外市場渠道，加速產品迭代與產業化落地。”她表示。
艾恩山東注冊地位于濟南，成立于2023年11月，占地面積3000平方米，主要從事離子注入機研發、生產及銷售，2025年4月份開工，目前已投產3臺設備，投資方是艾恩半導體。
艾恩半導體成立于2023年2月，注冊資本170.95萬元，法定代表人李更蘭，2024年10月總部從廣州遷入濟南，是一家專注于芯片制造核心設備——離子注入機研發、制造的民營科創企業。
股權穿透顯示，艾恩半導體有鐘新華、廣州恩遠新技術合伙企業（有限合伙）、濟南魯信新動能天使創業投資合伙企業（有限合伙）、廣州基聯新技術發展合伙企業（有限合伙）、山東高投毅達新動能創業投資合伙企業（有限合伙）、山東省高新技術創業投資有限公司等11名股東。其中，鐘新華持股30.11%，為艾恩半導體第一大股東。
鐘新華介紹，艾恩半導體技術團隊由國內離子注入機行業領軍者和資深專業人士構成，以實現半導體制造離子注入環節國產替代為目標，以碳化硅離子注入機為切入點，致力于成為國內離子注入機設備龍頭供應商。公司核心團隊擁有從特色工藝技術到硬件設計的全自研與全覆蓋的正向研發技術體系，通過光路優化、自研AI離子源，使離子注入機的生產效率提高了1.5倍以上。2024年公司首臺純自研設備出貨。艾恩半導體未來將持續開發高制程大尺寸離子注入機，不斷拓展泛半導體應用場景，面向全球成為平臺型半導體設備公司。
“我們以碳化硅工藝為切入點，已完成了適應于碳化硅工藝的Ai 350HT型離子注入機的開發，首臺設備已經在客戶端測試。”鐘新華介紹，2025年公司整體出貨2臺針對碳化硅量產線的AI 350HT、1臺針對8寸及以下硅基線的AI 250。大束流產品2025年完成研發，2026年形成商業化訂單，特種高能機預計2026年完成研發，2027年形成商業化訂單。
（大眾新聞·經濟導報記者 初磊）
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